Fei Quanta 3d Feg 듀얼 빔 프라그 마틱 슬롯 무료 현미경

FEI Quanta 3D FEG는 다중 분석이 장착 된 듀얼 빔 시스템입니다. 다양한 기술과 방법을 적용 할 수 있도록 조작 도구 같은 챔버. 이 시스템에는 높은 진공 청소기, 낮음과 같은 세 가지 이미징 모드가 있습니다. 진공 및 ESEM. 이 시스템에는 프라그 마틱 슬롯 무료 컬럼 (갈륨 프라그 마틱 슬롯 무료 소스)과 전계 방출 스캐닝 프라그 마틱 슬롯 무료 컬럼. 프라그 마틱 슬롯 무료 컬럼은 초점을 높일 수 있습니다 에너지 프라그 마틱 슬롯 무료 (일반적으로 30kV 갈륨 프라그 마틱 슬롯 무료)은 매우 작은 스팟 크기로 프라그 마틱 슬롯 무료 빔의 래스터 이동과 함께 제어 된 프라그 마틱 슬롯 무료 스퍼터링 상호 작용을 통한 재료 제거. 또한 FIB-SEM 기기 다수의 고해상도 이미징 및 표면 분석 방법론이 장착되어 있습니다. 낮은 진공 후방 산란 프라그 마틱 슬롯 무료 이미징 (BSE), 2 차 프라그 마틱 슬롯 무료 (SE) 이미징 등, 및 프라그 마틱 슬롯 무료 유도 이차 영상화 (ISE) 및 에너지 분산 X- 선 검출기 (EDS). 프라그 마틱 슬롯 무료 및 프라그 마틱 슬롯 무료 빔은 가스 주입 시스템과 함께 사용될 수 있습니다. 탐사 장소를 보호하기 위해 PT의 얇은 층을 퇴적 할 수 있습니다. 두 빔의. 악기에는 펠티에 냉각 단계가 장착되어 있으며 Omniprobe의 자동화, 현장 및 다목적 Nanonipulator.

기술 사양

프라그 마틱 슬롯 무료 ​​광학	고해상도 필드 배출 프라그 마틱 슬롯 무료M 열이 높은 밝기/고전류에 최적화
ION Optics	GA 액체 금속 프라그 마틱 슬롯 무료 소스가있는 매그넘 프라그 마틱 슬롯 무료 컬럼 1500 시간
프라그 마틱 슬롯 무료 ​​빔 해상도	-1.2 nm @ 30 kv @ High Vacuum Mode -1.5 nm @ 30 kv @ e프라그 마틱 슬롯 무료m 모드 -1.5 nm @ 3 kv @ low 진공 모드
프라그 마틱 슬롯 무료 빔 해상도	10 nm @ 30 kv @ 1pa
가속 전압	프라그 마틱 슬롯 무료 ​​빔 이미징의 경우 200V ~ 30kV, 프라그 마틱 슬롯 무료 빔 이미징의 경우 5 ~ 30kV
탐지기	Everhardt-Thornley 프라그 마틱 슬롯 무료D, 저 바쿠 프라그 마틱 슬롯 무료D, Ga프라그 마틱 슬롯 무료ous 프라그 마틱 슬롯 무료D, IR-CCD, EDS DETECTER 및 GA프라그 마틱 슬롯 무료OUS B프라그 마틱 슬롯 무료D
표본 단계	4 축 전동 유엔성 임계 계통 x = 50mm, y = 50mm, t = -15 +75 ° (수동), Z = 50mm (25 mm 전동), 회전 = 360 ° 마디 없는